工信部推广国产氟化氩光刻机:分辨率≤65nm

知识 2024-09-17 22:19:04 171
工信部推广国产氟化氩光刻机:分辨率≤65nm 2024年09月14日 21:56 观察者网 缩小字体 放大字体 收藏 微博 微信 分享 0 腾讯QQ QQ空间

  据微信公众号“工信微报”消息,工信广国光刻近日,部推辨率工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。产氟

  “工信微报”介绍道,化氩重大技术装备是机分国之重器,事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台(套)重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩装备产品,包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻

  而观察者网注意到,部推辨率在《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》电子专用装备目录下,产氟集成电路设备方面:氟化氩光刻机,化氩光源193纳米,机分分辨率≤65nm,套刻≤8nm。

  工信部网站

责任编辑:刘德宾

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