工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm
工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm 2024年09月14日 21:56 观察者网 缩小字体 放大字体 收藏 微博 微信 分享 0 腾讯QQ QQ空间
据微信公众号“工信微报”消息，工信广国光刻近日，部推辨率工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。产氟
“工信微报”介绍道，化氩重大技术装备是机分国之重器，事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台（套）重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩装备产品，包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻
而观察者网注意到，部推辨率在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，产氟集成电路设备方面：氟化氩光刻机，化氩光源193纳米，机分分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部网站
本文地址：//m.shelfshift.com/henan/html/82e099881.html
版权声明
本文仅代表作者观点，不代表本站立场。
本文系作者授权发表，未经许可，不得转载。